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학술대회 Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition 기술을 이용한 ZrOB 2B 박막 증착 공정에서 증착 온도와 Plasma Pulse Width가 박막 특성에 미치는 효과
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
윤선진, 임정욱, 노종수, 이진호
발행일
200602
출처
한국반도체 학술 대회 (KCS) 2006, pp.1-2
협약과제
05MB3300, Flexible 디스플레이 (차세대 디스플레이 기술 개발), 강광용
KSP 제안 키워드
Plasma-enhanced atomic layer deposition