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Conference Paper Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition 기술을 이용한 ZrOB 2B 박막 증착 공정에서 증착 온도와 Plasma Pulse Width가 박막 특성에 미치는 효과
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
Authors
윤선진, 임정욱, 노종수, 이진호
Issue Date
2006-02
Citation
한국반도체 학술 대회 (KCS) 2006, pp.1-2
Language
Korean
Type
Conference Paper
Project Code
05MB3300, Flexible Display, Kang Kwang-Yong
KSP Keywords
Plasma-enhanced atomic layer deposition