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학술대회 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Vanadium Oxide using Tetrakis(Ethylmethylamino) Vanadium and O2 as Precursors
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
윤선진, 임정욱, 채병규, 김현탁
발행일
200607
출처
International Conference on Atomic Layer Deposition Workshop (ALD) 2006, pp.1-1
KSP 제안 키워드
Plasma-enhanced atomic layer deposition, Vanadium oxide