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Conference Paper 감지 박막 중앙 배기 구멍에 따른 표면 가공형 멤스 음향 센서의 특성 분석
Cited - time in scopus Share share facebook twitter linkedin kakaostory
Authors
제창한, 이재우, 이성규, 양우석
Issue Date
2015-04
Citation
마이크로나노시스템학회 한국 MEMS 학술 대회 2015, pp.293-294
Publisher
마이크로나노시스템학회
Language
Korean
Type
Conference Paper