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Conference Paper ICP 공정을 이용한 PMN-PT 단결정 박막 식각 특성 평가
Cited - time in scopus Share share facebook twitter linkedin kakaostory
Authors
김혜진, 이성규, 박강호
Issue Date
2006-11
Citation
한국센서학회 종합 학술 대회 2006, pp.1-2
Publisher
한국센서학회
Language
Korean
Type
Conference Paper
KSP Keywords
PMN-PT