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학술대회 High-K Nano-Composite ZrO2/Al2O3 Films Deposited by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
윤선진, 임정욱, 김현탁
발행일
200612
출처
International Conference on Nano Science and Nano Technology (GJ-NST) 2009, pp.1-25
KSP 제안 키워드
High-K, Nano composite, Plasma-enhanced atomic layer deposition