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학술대회 나노임프린트 리소그래피를 이용한 SOI 광결정 슈퍼프리즘 제작
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
최춘기, 한영탁, 오상순
발행일
200707
출처
한국광학회 학술 발표회 (하계) 2007, pp.1-2
협약과제
07SB1200, 나노 패턴용 스탬퍼 가공기술 개발, 최춘기