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학술대회 Growth Characteristics and Electrical Properties of Aluminum Oxide and Tin Oxide Superlattice Thin Films by Atomic Layer Deposition
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
이정무, 강승열, 안성덕
발행일
201511
출처
International Conference on Advanced Electromaterials (ICAE) 2015, pp.1-1
협약과제
15PB3800, 구동 변위 10% 이상의 촉감과 3단계 이상의 질감 표현이 가능한 센싱과 구동 기능의 멀티터치센서 기초원천기술 개발, 안성덕
KSP 제안 키워드
Atomic Layer Deposition, Growth characteristics, Superlattice thin films, Tin Oxide, aluminum oxide, electrical properties(I-V curve), thin film(TF)