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학술대회 Stress Reduction of Ge2Sb2Te5 Crystallization by Capping Al2O3 Film Grown by PEALD
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
박영삼, 임정욱, 양우석, 이승윤, 윤성민, 유병곤
발행일
200710
출처
The Electrochemical Society (ECS) Meeting 2007 (212th), pp.1-1
KSP 제안 키워드
stress reduction