ETRI-Knowledge Sharing Plaform

KOREAN
논문 검색
Type SCI
Year ~ Keyword

Detail

Conference Paper 고해상도의 정전형 마이크로 경사 측정 센서의 제작 및 성능 평가
Cited - time in scopus Download 1 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
Authors
정대훈, 윤성식, 전민호, 이성식, 이명래, 황건, 이종현
Issue Date
2008-04
Citation
한국 MEMS 학술 대회 (KMEMS) 2008, pp.139-140
Publisher
마이크로나노시스템학회
Language
Korean
Type
Conference Paper
Project Code
08MB1900, Development of CMOS based MEMS processed multi-functional sensor for ubiquitous environment, Chang Auck Choi