ETRI-Knowledge Sharing Plaform

ENGLISH

성과물

논문 검색
구분 SCI
연도 ~ 키워드

상세정보

학술대회 고해상도의 정전형 마이크로 경사 측정 센서의 제작 및 성능 평가
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
정대훈, 윤성식, 전민호, 이성식, 이명래, 황건, 이종현
발행일
200804
출처
한국 MEMS 학술 대회 (KMEMS) 2008, pp.139-140
협약과제
08MB1900, 유비쿼터스용 CMOS 기반 MEMS 복합센서기술개발, 최창억