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Conference Paper 고밀도 플라즈마를 이용한 ZrO2 박막의 식각 특성 연구
Cited - time in scopus Share share facebook twitter linkedin kakaostory
Authors
우종창, 김상기, 구진근, 장명수, 강진영
Issue Date
2008-06
Citation
한국전기전자재료학회 학술 대회 (하계) 2008, pp.170-171
Publisher
한국전기전자재료학회
Language
Korean
Type
Conference Paper