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Journal Article 고체 전해질 메모리 소자의 연구 동향
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Authors
박영삼, 이승윤, 윤성민, 정순원, 유병곤
Issue Date
2008-07
Citation
한국진공학회지, v.17, no.4, pp.253-261
ISSN
1225-8822
Publisher
한국진공학회
Language
Korean
Type
Journal Article
DOI
https://dx.doi.org/10.5757/JKVS.2008.17.4.253
Abstract
Programmable metalization cell (PMC) memory 소자로도 명명되는 고체 전해질 메모리 소자는 비휘발성, 고속 및 높은 ON/OFF 저항비 등을 갖고 있기 때문에, 차세대 비휘발성 메모리로서 각광받고 있는 소자 중의 하나이다. 본 논문에서는 고체 전해질 메모리 소자의 동작 원리를 먼저 소개하고자 한다. 또한, 메모리향 소자 개발을 진행 중인 미국 코지키 교수 그룹, 비메모리향 소자 개발을 진행 중인 일본 NEC 그룹 등의 해외 연구진과, Te 계열의 칼코게나이드 합금을 채택하여 소자를 제작한 한국전자통신연구원 및 충남대학교 등의 국내 연구진의 연구 성과를 소개하고자 한다.