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학술대회 첨가 가스에 따른 고밀도 트렌치 식각 특성 연구
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저자
김상기, 박건식, 구진근, 박훈수, 우종창, 박종문, 김보우, 강진영
발행일
200806
출처
한국전기전자재료학회 학술 대회 (하계) 2008, pp.245-246
협약과제
08ZB1100, 반도체 Foundry 운영사업, 김보우