ETRI-Knowledge Sharing Plaform

KOREAN
논문 검색
Type SCI
Year ~ Keyword

Detail

Conference Paper 첨가 가스에 따른 고밀도 트렌치 식각 특성 연구
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
Authors
김상기, 박건식, 구진근, 박훈수, 우종창, 박종문, 김보우, 강진영
Issue Date
2008-06
Citation
한국전기전자재료학회 학술 대회 (하계) 2008, pp.245-246
Language
Korean
Type
Conference Paper
Project Code
08ZB1100, The Service Project of Semiconductor Foundry, Kim Bo Woo