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학술대회 Sidewall 산화막을 이용한 고밀도 트렌치게이트 Power MOSFET 제작
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저자
김상기, 김용구, 박건식, 구진근, 유성욱, 김보우, 박성호, 강진영
발행일
200902
출처
한국진공학회 학술 대회 (동계) 2009, pp.183-183
협약과제
08IB1100, E-bike용 고집적 트렌치형 파워 MOSFET 설계 및 시제품 제작 기술지원, 김상기
KSP 제안 키워드
power MOSFET