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Conference Paper 2개의 희생층을 이용하여 음향 챔버를 구비한 표면 미세 기계 가공 음향 센서
Cited - time in scopus Share share facebook twitter linkedin kakaostory
Authors
이재우, 고상춘, 송현우, 박강호, 김종대
Issue Date
2009-04
Citation
한국 MEMS 학술 대회 2009, pp.1-2
Publisher
마이크로나노시스템학회
Language
Korean
Type
Conference Paper