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학술대회 2개의 희생층을 이용하여 음향 챔버를 구비한 표면 미세 기계 가공 음향 센서
Cited - time in scopus Download 2 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
이재우, 고상춘, 송현우, 박강호, 김종대
발행일
200904
출처
한국 MEMS 학술 대회 2009, pp.1-2
협약과제
09MB1500, 유비쿼터스 단말용 부품 모듈, 김종대