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학술대회 Study on the Surface Characteristics of Parylene-C Films in Inductively Coupled O2/CF4 Gas Plasma
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
함용현, 백규하, 박건식, 신홍식, 윤호진, 권광호, 도이미
발행일
200910
출처
International Meeting on Information Display (IMID) 2009, pp.1399-1401
KSP 제안 키워드
Gas plasma, Inductively coupled, Surface characteristics, parylene-C