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학술대회 Rf-Magnetron Sputter 증착 기술을 이용한 태양 전지용 p형 비정질 실리콘 박막의 특성 분석
Cited - time in scopus Download 1 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
이성현, 윤선진, 김제하, 임정욱
발행일
200911
출처
한국진공학회 학술 대회 (하계) 2009, pp.273-273
협약과제
09MB5500, 광캡쳐 구조 반사방지막 및 조성기울기를 갖는 Si/SiGe 박막 태양전지 기술 개발, 윤선진
KSP 제안 키워드
RF magnetron sputter