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Conference Paper
Rf-Magnetron Sputter 증착 기술을 이용한 태양 전지용 p형 비정질 실리콘 박막의 특성 분석
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- Issue Date
- 2009-11
- Citation
- 한국진공학회 학술 대회 (하계) 2009, pp.273-273
- Language
- Korean
- Type
- Conference Paper
- Project Code
- 09MB5500, 광캡쳐 구조 반사방지막 및 조성기울기를 갖는 Si/SiGe 박막 태양전지 기술 개발, Sun Jin Yun
- KSP Keywords
- RF magnetron sputter