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학술지 TSV형성을 위한 DRIE 기술
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저자
백규하, 김동표, 박건식, 강진영, 이기준, 도이미
발행일
200912
출처
한국정밀공학회지, v.26 no.12, pp.32-40
ISSN
1225-9071
출판사
한국정밀공학회