ETRI-Knowledge Sharing Plaform

ENGLISH

성과물

논문 검색
구분 SCI
연도 ~ 키워드

상세정보

학술대회 A Nano-Focus X-Ray Source Using Carbon Nanotube Field Emitters for Semiconductor Inspections
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
송윤호, 김재우, 신민식, 전효진, 정진우, 강준태, 최성열, 박소라, 최영철, 연지환, 김성희, 안승준
발행일
201502
출처
한국 반도체 학술 대회 (KCS) 2015, pp.522-522
KSP 제안 키워드
Carbon nano-tube(CNT), X-ray sources, field emitter