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학술대회 Indium Oxide Thin Films Grown by PEALD using Triethylindium Liquid Precursor and O2 Plasma for TFTs
Cited - time in scopus Download 14 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
나제호, 임정욱, 김태윤, 이성현, 윤선진
발행일
201706
출처
International Forum on Functional Materials (IFFM) 2017, pp.253-253
협약과제
17HB1300, 차세대 신기능 스마트디바이스 플랫폼을 위한 대면적 이차원소재 및 소자 원천기술 개발, 윤선진
KSP 제안 키워드
Indium oxide thin films, Liquid precursor, thin film(TF)