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학술대회 Stress-Controlled PECVD Si3N4 Diaphragm-based Capacitive-Type Acoustic Sensor for IoT Application
Cited - time in scopus Download 2 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
이재우, 임종필, 김정훈, 임솔이, 허재석, 이승민, 문승언
발행일
201711
출처
한국센서학회 종합 학술 대회 2017, pp.145-146
협약과제
17HB3800, 스마트폰 탑재 가능한 공기질 모니터링용 복합환경 센서모듈 개발, 이재우
KSP 제안 키워드
Acoustic Sensor, Capacitive-type, IOT applications