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학술대회 A Study on the Effect of Dry Etching Damage in BCE Oxide Thin-Film Transistors
Cited - time in scopus Download 4 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
최지훈, 양종헌, 피재은, 황치영, 최경희, 김희옥, 황치선
발행일
201808
출처
International Meeting on Information Display (IMID) 2018, pp.134-134
협약과제
18MF1200, 디지털 홀로그래픽 테이블탑형 단말 기술 개발, 김진웅
KSP 제안 키워드
Etching damage, Thin-Film Transistor(TFT), dry etching, oxide thin-film transistors, thin film(TF)