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학술대회
A Study on the Effect of Dry Etching Damage in BCE Oxide Thin-Film Transistors
Cited - time in 
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- 발행일
- 201808
- 출처
- International Meeting on Information Display (IMID) 2018, pp.134-134
- 협약과제
- 18MF1200, 디지털 홀로그래픽 테이블탑형 단말 기술 개발, 김진웅
- KSP 제안 키워드
- Etching damage, Thin-Film Transistor(TFT), dry etching, oxide thin-film transistors, thin film(TF)