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학술대회 Equivalent Circuit-based Open-circuit Sensitivity Modelling of a Capacitive-type MEMS Acoustic Sensor on Wafer Level
Cited - time in scopus Download 1 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
이재우, 임종필, 김정훈, 임솔이, 문승언
발행일
201809
출처
Eurosensors 2018, pp.1-4
협약과제
18HB3800, IoT 불꽃감지용 ROIC 내장 CMOS-MEMS 표면가공기반 초소형 적외선 검출기 개발, 이재우
KSP 제안 키워드
Acoustic Sensor, Capacitive-type, Circuit-based, Equivalent Circuit, Open circuit, wafer level