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학술지 극한 환경용 반도체 기술 동향
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저자
장우진, 문재경, 이형석, 임종원, 백용순
발행일
201902
출처
The SEMICON Magazine, v.23, pp.28-36
협약과제
19PB3300, 저결함(1x104cm-2)특성의 고품위 Ga2O3 에피소재 및 1KV 이상의 항복전압을 가지는 전력소자 기술 개발, 문재경