We investigated the effect of inductively coupled plasma (ICP) on multilayer electrodes for flexible capacitive touch sensors. We found that using ICP during Ag deposition generally increased the conductivity and transmittance of multilayer electrodes. As a result, in the case of the multilayer electrode with an ICP power of 150 W during Ag deposition, 5.7 ??/sq of sheet resistance and 89.6% of transmittance (550 nm) have been achieved. We demonstrate that the crystallization of the ICP supplied Ag layer in multilayer electrodes leads to the smooth surface roughness of the multilayer film; the smooth surface roughness provided low light scattering. As a result, the crystallized Ag thin film by ICP improved the sheet resistance and transmittance of multilayer electrodes. Finally, we fabricated a 221 × 130 mm (active layer)-sized single-layer touch screen panel (TSP) using multilayer electrodes with ICP on a corning glass and polyethylene terephthalate flexible substrate. The single-layer TSPs show high linearity and sensitivity with multitouches.
KSP 제안 키워드
Active Layer, Ag deposition, Ag layer, Ag thin film, Capacitive touch, Flexible substrate, ICP power, Inductively-coupled plasma(ICP), Low light, Multilayer electrode, Polyethylene terephthalate
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<출처표시방법 안내> 작성자, 저작물명, 출처, 권호, 출판년도, 이용조건 [예시1] 김진미 외, "매니코어 기반 고성능 컴퓨팅을 지원하는 경량커널 동향", 전자통신동향분석, 32권 4호, 2017, 공공누리 제4유형 [예시2] 심진보 외, "제4차 산업 혁명과 ICT - 제4차 산업 혁명 선도를 위한 IDX 추진 전략", ETRI Insight, 2017, 공공누리 제 4유형
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