ETRI-Knowledge Sharing Plaform

KOREAN
논문 검색
Type SCI
Year ~ Keyword

Detail

Conference Paper 실리콘 MEMS 마이크로폰의 희생층 릴리징 공정 개발
Cited - time in scopus Share share facebook twitter linkedin kakaostory
Authors
고상춘, 전치훈, 문종태, 최창억
Issue Date
2010-11
Citation
한국음향학회 학술 발표 대회 (추계) 2010, pp.110-113
Publisher
한국음향학회
Language
Korean
Type
Conference Paper