19HB2900, 미세공정 화합물 반도체 기반 밀리미터파 대역 5G 부품기술 개발,
강동민
초록
In the fabrication of InAlAs/InGaAs metamorphic high-electron-mobility transistor (mHEMT), the determination of whether etching has been completed to the desired gate recess depth is made by measuring whether the drain current through the channel layer has reached the target current. Non-uniformity of the etching rate occurs during wet etching with citric acid. In this study, the cause of that non-uniformity was investigated. We confirmed that an electrochemical potential caused by the electrolyte of the etching solution was induced between the ohmic electrode and the epitaxial layer of the recess region, resulting in a non-uniform etching rate. In particular, the case where the Au of an ohmic electrode is exposed by the monitor window for the measuring channel current was considered. The gate recess etch rate was changed by the presence, location and size of the photoresist openings on the ohmic electrodes.
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<출처표시방법 안내> 작성자, 저작물명, 출처, 권호, 출판년도, 이용조건 [예시1] 김진미 외, "매니코어 기반 고성능 컴퓨팅을 지원하는 경량커널 동향", 전자통신동향분석, 32권 4호, 2017, 공공누리 제4유형 [예시2] 심진보 외, "제4차 산업 혁명과 ICT - 제4차 산업 혁명 선도를 위한 IDX 추진 전략", ETRI Insight, 2017, 공공누리 제 4유형
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