20VB1100, 인체 열해석 기반 연성열전모듈 설계 및 시스템 패키징 기술 (본과제명:Wearable Device 용 열전발전 시스템 기술 개발) (5차년도),
문승언
초록
Since ferroelectricity has been observed in simple binary oxide material systems, it has attracted great interest in semiconductor research fields such as advanced logic transistors, non-volatile memories, and neuromorphic devices. The location in which the ferroelectric devices are implemented depends on the specific application, so the process constraints required for device fabrication may be different. In this study, we investigate the ferroelectric characteristics of Zr doped HfO2 layers treated at high temperatures. A single HfZrOx layer deposited by sputtering exhibits polarization switching after annealing at a temperature of 850?뿦 C. However, the achieved ferroelectric properties are vulnerable to voltage stress and higher annealing temperature, resulting in switching instability. Therefore, we introduce an ultrathin 1-nm-thick Al2 O3 layer at both interfaces of the HfZrOx. The trilayer Al2 O3 /HfZrOx /Al2 O3 structure allows switching parameters such as remnant and saturation polarizations to be immune to sweeping voltage and pulse cycling. Our results reveal that the trilayer not only makes the ferroelectric phase involved in the switching free from pinning, but also preserves the phase even at high annealing temperature. Simultaneously, the ferroelectric switching can be improved by preventing leakage charge.
KSP 제안 키워드
Annealing temperature, Binary oxide, Ferroelectric characteristics, Ferroelectric devices, Ferroelectric properties, High Temperature, Non-Volatile Memory(NVM), Oxide material, Process constraints, Voltage stress, Zr doped
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<출처표시방법 안내> 작성자, 저작물명, 출처, 권호, 출판년도, 이용조건 [예시1] 김진미 외, "매니코어 기반 고성능 컴퓨팅을 지원하는 경량커널 동향", 전자통신동향분석, 32권 4호, 2017, 공공누리 제4유형 [예시2] 심진보 외, "제4차 산업 혁명과 ICT - 제4차 산업 혁명 선도를 위한 IDX 추진 전략", ETRI Insight, 2017, 공공누리 제 4유형
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