21JB2600, 저온 공정 산화물 반도체 기반 초저전력 단일3차원 집적 로직 소자 및 아키텍쳐 개발,
조성행
초록
Developing high-performance p-type metal-oxide semiconductors comparable to n-type ones has opened a new window for the realization of transparent, flexible, and low-power integrated circuits in large-area electronics. Herein, the fabrication of solution-processed p-type metal-oxide thin-film transistors (TFTs) with excellent device performance at low temperatures using a novel material is reported. Potassium (K) content is introduced into the tin oxide precursor solution to stabilize the tin (II) oxide (SnO) phase rather than the tin (IV) oxide (SnO2) phase during thin-film formation. The optimized K-doped SnO (K-SnO) TFTs exhibit outstanding electrical performance, with a maximum Hall mobility of 51 cm2 V?닋1 s?닋1 and a field-effect hole mobility of 2.3 cm2 V?닋1 s?닋1. The achievement of the solution-processed K-SnO TFTs not only provides a significant step toward the development of complementary metal-oxide semiconductor circuits, but also represents a feasible approach for low-cost flexible p-type metal-oxide electronics.
KSP 제안 키워드
Complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS), Hall mobility, High performance, Hole mobility, K-doped, Low temperature(LT), Low-Power, Low-cost, Metal-oxide(MOX), N-type, Novel material
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<출처표시방법 안내> 작성자, 저작물명, 출처, 권호, 출판년도, 이용조건 [예시1] 김진미 외, "매니코어 기반 고성능 컴퓨팅을 지원하는 경량커널 동향", 전자통신동향분석, 32권 4호, 2017, 공공누리 제4유형 [예시2] 심진보 외, "제4차 산업 혁명과 ICT - 제4차 산업 혁명 선도를 위한 IDX 추진 전략", ETRI Insight, 2017, 공공누리 제 4유형
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