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학술대회 Defect Analysis of Single Crystal Substrate for III-Nitrides using X-ray Topography
Cited - time in scopus Download 3 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
배성범, 이형석, 정현욱, 김성복, 김종현
발행일
202111
출처
한국방사광이용자협회 방사광 이용자 연구 발표회 2021, pp.47-47
협약과제
21FB1100, 초고주파 전력증폭기용 GaN-on-SiC 에피소재 기술개발, 배성범
KSP 제안 키워드
III-Nitrides, Single crystal, defect analysis, x-ray topography