상세정보
학술대회
A Ceramic Surface Charging Model for Accurate Prediction of E-beam Trajectory in Field Emission Digital X-ray Sources
- 발행일
- 202204
- 출처
- International Vacuum Electronics Conference (IVEC) 2022, pp.1-2
- 협약과제
- 22HB1500, 초고밀도 ICT 제품 검사용 디지털 마이크로포커스 엑스선 튜브 개발과 이를 이용한 고생산성의 인라인 검사 장비 선도 개발, 송윤호
- KSP 제안 키워드
- Accurate prediction, Charging model, Digital X-ray, E-Beam, X-ray sources, field emission, surface charging