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학술대회 Temperature-dependent Field Electron Emission Characteristics of Carbon Nanotube Paste Emitter with Nano SiC and Ni Adhesive Layer
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저자
고은솔, 김재우, 이정웅, 안유정, 정진우, 강준태, 박소라, 윤기남, 김성준, 최성훈, 연지환, 김성희, 송윤호
발행일
202204
출처
한국 MEMS 학술 대회 2022, pp.1-2
협약과제
22HB1500, 초고밀도 ICT 제품 검사용 디지털 마이크로포커스 엑스선 튜브 개발과 이를 이용한 고생산성의 인라인 검사 장비 선도 개발, 송윤호
KSP 제안 키워드
Adhesive layer, Carbon nano-tube(CNT), Electron emission characteristics, Nano SiC, Temperature-dependent, carbon nanotube paste, field electron emission