ETRI-Knowledge Sharing Plaform

ENGLISH

성과물

논문 검색
구분 SCI
연도 ~ 키워드

상세정보

학술대회 Amorphous Oxide TFTs with IGZO Channels Deposited by Ionized Physical Vapor Deposition Method
Cited - time in scopus Download 1 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
박준용, 정우석, 이미희, 정승묵, 김홍승
발행일
201011
출처
International Conference on Electronic Materials and Nanotechnology for Green Environment (ENGE) 2010, pp.1-1
KSP 제안 키워드
Amorphous oxide, Ionized physical vapor deposition(IPVD), Oxide TFTs, Vapor deposition method