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학술대회 Metal Oxide Thin-Film Transistors with Deep Submicron Channel Enabled by Self-Aligned Nano Gap Patterning
Cited - time in scopus Download 2 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
성치훈, 남수지, 조성행
발행일
202210
출처
The Electrochemical Society (ECS) Meeting 2022, pp.1-23
협약과제
22IB1300, M3D 산화물반도체 기반 초저소비전력 고대역 대용량 DRAM 개발, 조성행
KSP 제안 키워드
Deep Submicron, Metal-oxide(MOX), Thin-Film Transistor(TFT), metal oxide thin-film transistors, nano-gap, self-Aligned, thin film(TF)