ETRI-Knowledge Sharing Plaform

ENGLISH

성과물

논문 검색
구분 SCI
연도 ~ 키워드

상세정보

학술대회 Fabrication of AlGaN/GaN Heterostructure FET using Multi-Step Ohmic Annealing Process
Cited - time in scopus Download 4 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
김진식, 이형석, 배성범
발행일
202302
출처
한국반도체 학술대회 (KCS) 2023, pp.746-746
협약과제
22VB1200, 해수 담수화 시스템에 적용될 수소 발생 장치용 GaN 기반 전력 모듈 개발, 김진식
KSP 제안 키워드
AlGaN/GaN heterostructure, Multi-step, annealing process