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학술지 Improvement of Dynamic On-Resistance in GaN-Based Devices with a High-Quality In Situ SiN Passivation Layer
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저자
김정길, 이준혁, 강동민, 이정희
발행일
202306
출처
Micromachines, v.14 no.6, pp.1-10
ISSN
2072-666X
출판사
Multidisciplinary Digital Publishing Institute (MDPI)
DOI
https://dx.doi.org/10.3390/mi14061227
협약과제
23HB3200, 28GHz 지원 5G 기지국용 GaN 기반 공정 기술 및 RF 부품 개발, 강동민
KSP 제안 키워드
Dynamic ON-resistance, GaN-Based, High-quality, SiN Passivation, passivation layer
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