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학술대회 Oxide Semiconductor Thin-Film Transistors with Deep Submicron Channel Fabricated with Hyperlithography

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저자: 성치훈, 남수지, 조성행

발행일: 202305

출처: Society for Information Display (SID) International Symposium 2023, pp.692-694

DOI: https://dx.doi.org/10.1002/sdtp.16653

협약과제: 22IB1300, M3D 산화물반도체 기반 초저소비전력 고대역 대용량 DRAM 개발, 조성행

KSP 제안 키워드: Deep Submicron, Oxide semiconductor, Thin-Film Transistor(TFT), thin film(TF)

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