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학술지 Light field microscope target with low power, low pressure reactive ion etching process
Cited 1 time in scopus Download 78 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
김치훈, 김상윤, 이문섭
발행일
202306
출처
Current Applied Physics, v.50, pp.127-132
ISSN
1567-1739
출판사
Elsevier BV
DOI
https://dx.doi.org/10.1016/j.cap.2023.04.007
협약과제
23HK1200, 플렌옵틱 현미경 영상 획득 및 검진 기술 개발, 이문섭
KSP 제안 키워드
Field microscope, Low-Power, Reactive ion etching(RIE), light field, low pressure, reactive ion etching process
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