상세정보
학술지
Light field microscope target with low power, low pressure reactive ion etching process
- 발행일
- 202306
- 출처
- Current Applied Physics, v.50, pp.127-132
- ISSN
- 1567-1739
- 출판사
- Elsevier BV
- 협약과제
- 23HK1200, 플렌옵틱 현미경 영상 획득 및 검진 기술 개발, 이문섭
- KSP 제안 키워드
- Field microscope, Low-Power, Reactive ion etching(RIE), light field, low pressure, reactive ion etching process
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