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Conference Paper
산화물CMOS 기반 심리스 모듈형 microLED 디스플레이
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- Issue Date
- 2026-07
- Citation
- Optics and Photonics Congress (OPC) 2026, pp.1-1
- Publisher
- 한국광학회
- Language
- Korean
- Type
- Conference Paper
- Abstract
- OLED의 차세대 경쟁 기술로 uLED 디스플레이 연구가 활발히 진행되고 있다. 기존 실리콘 기판 기반 uLED는 고해상도 구현에는 유리하나, 단위 모듈 크기 제한으로 인해 대면적 구현 시 높은 비용과 수율 저하 문제가 존재한다. 본 연구에서는 이를 해결하기 위하여 유리 기판 기반 산화물 반도체 CMOS를 적용한 uLED 디스플레이 구조를 제안하였다. InGaO 및 InSnZnO 기반 NMOS와 SnO 기반 PMOS를 구현하였으며, 200 V/V 이상의 inverter 게인을 확보하였다. 또한 TGV-free 공정을 제안하여 folding 기반 배선 구조와 laser lift-off용 grid 패턴을 적용함으로써 고정밀 심리스 모듈러 디스플레이를 구현하였다.