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학술대회 Sub-20 nm Silicon Template Nanofabrication by Advanced Edge Patterning Technique for NIL Applications
Cited - time in scopus Download 0 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
백규하, 박건식, 도이미, 김동표, 김진식, 김주연, 이기준
발행일
201012
출처
International Conference on Nano Science and Nano Technology (ICNST) 2010, pp.384-385
협약과제
10SC1100, 나노임프린트 적용 sub-30 nm Gate MOSFET 연구, 도이미