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Type SCI
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Conference Paper X-모양의 하부 전극 지지대를 구비한 표면 미세 기계 가공 음향 센서
Cited - time in scopus Share share facebook twitter linkedin kakaostory
Authors
이재우, 고상춘, 제창한, 이명래, 최창억, 양일석, 허세완, 김종대
Issue Date
2010-04
Citation
한국 MEMS 학술 대회 (KMEMS) 2010, pp.165-166
Publisher
마이크로나노시스템학회
Language
Korean
Type
Conference Paper