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학술대회 Fabrication of ITO:Ta Thin Film Transistors by Co-sputtering
Cited - time in scopus Download 1 time Share share facebook twitter linkedin kakaostory
저자
정승묵, 신재헌, 홍찬화, 정우석
발행일
201110
출처
International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT)2011, pp.1-2
협약과제
10MB6800, 디스플레이용 산화물 반도체 조성 및 고밀도 산화물 반도체 타켓 개발, 정우석
KSP 제안 키워드
Co-sputtering, Thin-Film Transistor(TFT), thin film(TF)