주제어 : Pt thin film
구분 | 연도 | 논문 | 피인용 | 원문 |
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학술지 | 2018 | Deposition Pressure Dependent Electric Properties of (Hf; Zr)O2 Thin Films Made by RF Sputtering Deposition Method 문승언 Journal of the Korean Physical Society, v.73 no.11, pp.1712-1715 | 0 | 원문 |
구분 | 출원 | 특허 | 출원국 | 패밀리 | KIPRIS |
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구분 | 연도 | 보고서 | 책임자 | 원문 |
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