주제어 : Amorphous SiCN films
구분 | 연도 | 논문 | 피인용 | 원문 |
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학술지 | 2004 | Amorphous Silicon Carbon Nitride Films Grown by the Pulsed Laser Deposition of a SiC-Si3N4 Mixed Target 박래만 ETRI Journal, v.26 no.3, pp.257-261 | 12 | 원문 |
구분 | 출원 | 특허 | 출원국 | 패밀리 | KIPRIS |
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구분 | 연도 | 보고서 | 책임자 | 원문 |
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