주제어 : Magnetron co-sputtering system
구분 | 연도 | 논문 | 피인용 | 원문 |
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학술지 | 2011 | Amorphous In-Sn-Zn-O Films Deposited on Polymer and Glass Substrates Using Co-Sputtering System 방준호 Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics, v.6 no.3, pp.369-374 | 0 | 원문 |
구분 | 출원 | 특허 | 출원국 | 패밀리 | KIPRIS |
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구분 | 연도 | 보고서 | 책임자 | 원문 |
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