주제어 : High vacuum chemical vapor deposition
구분 | 연도 | 논문 | 피인용 | 원문 |
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학술대회 | 2002 | RF performance tradeoffs of SiGe HBT fabricated by reduced pressure chemical vapor deposition 민봉기 International Microwave Symposium (IMS) 2002, pp.413-416 | 3 | 원문 |
구분 | 출원 | 특허 | 출원국 | 패밀리 | KIPRIS |
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구분 | 연도 | 보고서 | 책임자 | 원문 |
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