주제어 : gap cavity
구분 | 연도 | 논문 | 피인용 | 원문 |
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학술지 | 2006 | Micromachined Air-Gap Structure MEMS Acoustic Sensor using Reproducible High-Speed Lateral Etching and CMP Process 고상춘 Journal of Micromechanics and Microengineering, v.16 no.10, pp.2071-2076 | 15 | 원문 |
구분 | 출원 | 특허 | 출원국 | 패밀리 | KIPRIS |
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구분 | 연도 | 보고서 | 책임자 | 원문 |
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