주제어 : High deposition rate
구분 | 연도 | 논문 | 피인용 | 원문 |
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학술지 | 2017 | Large Size of Capacitive Window-Unified TSP Using by Contact Hole Type as an Insulator 서우형 Journal of Nanoscience and Nanotechnology, v.17 no.5, pp.3089-3091 | 0 | 원문 |
구분 | 출원 | 특허 | 출원국 | 패밀리 | KIPRIS |
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구분 | 연도 | 보고서 | 책임자 | 원문 |
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