주제어 : High pressure annealing
구분 | 연도 | 논문 | 피인용 | 원문 |
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학술지 | 2020 | Improved Ferroelectric Switching in Sputtered HfZrOx Device Enabled by High Pressure Annealing 우지용 IEEE Electron Device Letters, v.41 no.2, pp.232-235 | 18 | 원문 |
구분 | 출원 | 특허 | 출원국 | 패밀리 | KIPRIS |
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구분 | 연도 | 보고서 | 책임자 | 원문 |
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