패밀리특허 검색결과
구분	특허	출원국	KIPRIS
등록	다수의 구멍을 가진 마이크로히터를 이용한 MEMS형 반도체식 가스 센서 및 그 제조 방법	대한민국
등록	다수의 구멍을 가진 마이크로히터와 이를 이용한 MEMS형 반도체식 가스 센서	미국