패밀리 특허

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구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 다수의 구멍을 가진 마이크로히터를 이용한 MEMS형 반도체식 가스 센서 및 그 제조 방법 대한민국
등록 다수의 구멍을 가진 마이크로히터와 이를 이용한 MEMS형 반도체식 가스 센서 미국