Inventors

이형근, 최낙진, 문승언, 김종대, 이재우, 양우석

Application No.

10-2012-0152405 (2012.12.24) KIPRIS

Publication No.

10-2014-0083159 (2014.07.04)

Registration No.

10-1993782-0000 (2019.06.21)

Country

KOREA

Project Code

12MB2400, Development of self-powered smart sensor node platform for smart&green building, Kim Jongdae

Abstract

본 발명은 양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법을 개시한다. 그의 센서는, 탄성 박막과, 상기 탄성 박막 상의 발열 저항 층과, 상기 발열 저항 체 상의 층간 절연 층과, 상기 층간 절연 층 상의 상부 감지 층과, 상기 발열 저항 층에서의 열손실을 최소화하기 위해 발열 저항 층에 대응되는 상기 탄성 박막 아래에 배치된 하부 감지 층를 포함한다.

Family

 

패밀리 특허 목록

Status	Patent	Country	KIPRIS
Registered	DUAL-SIDE MICRO GAS SENSOR AND METHOD OF FABRICATING THE SAME	UNITED STATES